技術(shù)文章
高輸出型芯片周邊曝光用
| 初期紫外線強(qiáng)度 | 2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距離） |
| 強(qiáng)度分布的均勻性 | 10%以下（4x）5mm區(qū)域） |
| 紫外線発光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
| 紫外線発光源壽命 | 20000小時(shí)（推定壽命驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí)）※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點(diǎn)燈累計(jì)時(shí)間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通過遠(yuǎn)程及手動(dòng)控制點(diǎn)亮/熄滅） |
| 光量調(diào)整機(jī)能 | UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100% |
| 外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。
產(chǎn)品目錄
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分析儀器
- 污泥檢測(cè)儀
- 分光測(cè)計(jì)
- 鹽度計(jì)
- 計(jì)數(shù)器
- 糖度計(jì)
- 水位計(jì)
- 超聲波厚度計(jì)
- 測(cè)力計(jì)
- 振動(dòng)計(jì)
- 探測(cè)器
- 壓力調(diào)整器
- 水平儀
- 電阻率計(jì)
- 離心機(jī)
- 送料器
- 電位儀
- 膜厚計(jì)
- 電流表
- 數(shù)字秤
- 天平
- 水分儀
- 白度計(jì)
- 校準(zhǔn)器
- 質(zhì)構(gòu)儀
- 試驗(yàn)器
- 氣度儀
- 測(cè)試儀
- 分析儀
- 粘度計(jì)
- 光度計(jì)
- 科學(xué)機(jī)器
- 加壓容器
- 二氧化碳分析儀器
- 控制器
- 檢測(cè)套件
- 分析測(cè)定類
- 殘留檢測(cè)
- 粉體行業(yè)
- 化妝品行業(yè)
- 糧食行業(yè)
- 食品行業(yè)
- 水產(chǎn)行業(yè)
- 鋰電池行業(yè)
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機(jī)械設(shè)備
- 磁選機(jī)
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機(jī)
- 水準(zhǔn)儀
- 變送器
- 臭氧檢測(cè)儀
- 色譜儀
- 拋光機(jī)
- 加熱器
- 張力計(jì)
- 混凝土檢測(cè)儀
- 加熱板
- 儲(chǔ)藏
- 壓力機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 破碎機(jī)
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機(jī)
- 切割機(jī)
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機(jī)
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機(jī)
- 涂布機(jī)
- 鍍膜機(jī)
- 試驗(yàn)機(jī)
- 球磨機(jī)
- 均質(zhì)機(jī)
- 脫泡機(jī)
- 點(diǎn)焊機(jī)
- 干燥機(jī)
- 研磨機(jī)
- 密度儀
- 擂搗機(jī)
- 混合設(shè)備
- 除鐵機(jī)
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點(diǎn)膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機(jī)器
- 壓鑄機(jī)
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機(jī)
- 輪廓儀
- 測(cè)量針
- 過濾器
- 比色計(jì)
- 亮度計(jì)
- 噴霧干燥機(jī)
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學(xué)合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計(jì)
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學(xué)反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
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儀器儀表
- 溶解氧測(cè)定儀
- 透過率計(jì)
- 電源
- 恒溫器
- 蝶閥
- 熔點(diǎn)儀
- 圧力計(jì)
- pH計(jì)
- 電阻測(cè)試儀
- 密封試驗(yàn)儀
- 余氯測(cè)定儀
- 色差儀
- 流速儀
- 抵抗計(jì)
- 絕緣電阻計(jì)
- 噪聲計(jì)
- 深度計(jì)
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測(cè)儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計(jì)
- 角度計(jì)
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計(jì)
- 計(jì)量泵
- 尺子測(cè)量
- 測(cè)量儀
- 密度計(jì)
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機(jī)
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動(dòng)泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計(jì)
- 濁度計(jì)
- 電導(dǎo)率儀
- 鹽分計(jì)
- 檢測(cè)儀
- 監(jiān)測(cè)儀
- 色度計(jì)
- 分光輻射計(jì)
- 差壓計(jì)
- 壓力表
- 料位計(jì)
- 電平計(jì)
- 比重計(jì)
- 流速計(jì)
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 扭矩計(jì)
- 應(yīng)力計(jì)
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計(jì)
- 摩擦計(jì)
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機(jī)
- 測(cè)定儀
- 露點(diǎn)儀
- 電氣爐
- 轉(zhuǎn)速表
- 水分計(jì)
- 濃度計(jì)
- 流量計(jì)
- 物位計(jì)
- 測(cè)厚儀
- 硬度計(jì)
- 光纖測(cè)定器
- 水分活性測(cè)定
- 熱風(fēng)計(jì)
- 數(shù)字照度計(jì)
- 風(fēng)速計(jì)
- 實(shí)體顯微鏡
- 環(huán)境測(cè)定計(jì)
- 躁聲計(jì)
- 真空計(jì)
- 液位計(jì)
- 高斯計(jì)
- 控制閥
- 壓力計(jì)
- 噴嘴類
- 泵類
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聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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