超高真空環境用零油污染無振動真空泵

超高真空環境用零油污染無振動真空泵

磁懸浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接觸式螺桿/爪式壓縮技術，摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體；
• 無振動運行：磁懸浮軸承消除機械接觸與磨損，振動極低，適合對穩定性要的實驗或測試環境；
• 超長壽命：連續運行壽命超10萬小時，大幅降低維護頻率；
• 適用場景：半導體制造、航天熱真空試驗、質譜分析等對潔凈度和穩定性要求的超高真空系統。

該類泵支持從10?? mbar 到大氣壓的寬范圍運行，適配多種超高級需求。

2. 無油渦旋真空泵（復合分子泵系統）

• 設計：采用非接觸式渦旋嚙合結構，無需潤滑油，避免油氣返流；
• 低振動、低噪音：結構精密，運行平穩，適合實驗室、潔凈室等安靜環境；
• 高真空能力：與渦輪分子泵組合使用，可實現10?? Pa 級別的超高真空；
• 適用場景：質譜儀、精密光學鍍膜、生物醫藥凍干等高潔凈度要求的超高真空系統。

特別適合對分子級潔凈有要求的應用，如半導體光刻、等離子體處理等。

磁懸浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接觸式螺桿/爪式壓縮技術，摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體；
• 無振動運行：磁懸浮軸承消除機械接觸與磨損，振動極低，適合對穩定性要求的實驗或測試環境；
• 超長壽命：連續運行壽命超10萬小時，大幅降低維護頻率；
• 適用場景：半導體制造、航天熱真空試驗、質譜分析等對潔凈度和穩定性要求的超高真空系統。

該類泵支持從10?? mbar 到大氣壓的寬范圍運行，適配多種超高真級需求

。

2. 無油渦旋真空泵（復合分子泵系統）

• 設計：采用非接觸式渦旋嚙合結構，無需潤滑油，避免油氣返流；
• 低振動、低噪音：結構精密，運行平穩，適合實驗室、潔凈室等安靜環境；
• 高真空能力：與渦輪分子泵組合使用，可實現10?? Pa 級別的超高真空；
• 適用場景：質譜儀、精密光學鍍膜、生物醫藥凍干等高潔凈度要求的超高真空系統。

特別適合對分子級潔凈有要求的應用，如半導體光刻、等離子體處理等。