電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵

電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵

無油、單級、水封、緊湊型 —— 實驗室 & 分析儀器 front-end 標準

一、產品定位

• 水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導體前道
• 電機直聯：無皮帶，免維護，體積比傳統水環泵小 40%
• 緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實驗臺下方
• 單級水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適合含水/有機溶劑樣

二、核心技術參數（LEH30MS）

三、功能亮點

1. 33 mbar 無油真空：比油旋片更潔凈，適合電鏡、激光腔排氣
2. 水封自冷卻：連續運行 24h 泵體 <40℃，無需額外冷卻水
3. 可處理水/有機蒸氣：水封液稀釋冷凝液，無乳化問題
4. 電機直聯：無皮帶，免維護；轉速 2800 rpm，振動 <2.5 mm/s
5. 緊湊型 23 kg：實驗臺下方即可安裝，節省空間
6. 一鍵排水：停機后打開排水閥，自動排空泵腔，防止水垢

四、典型應用系統圖

激光器腔體┌─── 腔體 ───┐│             │進氣← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可選）│             │└─── 回大氣 ──┘

• 泵進口接激光腔，出口接冷凝器回收溶劑
• 水封液 0.9 L/min 循環使用，每周更換一次

五、實測數據（實驗室驗證）

• 電鏡腔體 50 L，室溫 25 ℃
• LEH30MS 50 Hz 運行：
• 2 min 達到 50 mbar
• 5 min 極限 33 mbar
• 連續 8 h 水封溫升 <8 ℃，無乳化

六、選型與配件

七、維護與可靠性

• 水封液：每周更換，防止水垢（電導 <5 µS/cm）
• 進氣濾網：每月清洗一次
• 葉輪：無磨損，壽命 >20 000 h
• 無油設計，無需換油或處理廢油

八、結論