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產品資料
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實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

產品名稱: 實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置
產品型號: ZFDT
產品特點: 實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置
日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT，并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設備、小型臭氧發生器尾氣的“即時解毒"設計，可在無局部排風的環境下，將臭氧濃度迅速降到安全水平 。

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置 的詳細介紹

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT，并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設備、小型臭氧發生器尾氣的“即時解毒"設計，可在無局部排風的環境下，將臭氧濃度迅速降到安全水平。主要特點如下：
  1. 分解原理
    采用“離子分解 + 非金屬催化劑"兩段式結構：
    • 前段電暈放電產生低溫等離子體，使 O? 初步裂解為 O? + O*；
    • 后段填充 Excimer  MnO?-沸石復合催化劑，把殘余臭氧轉化為氧氣，無二次污染物。
  2. 性能指標（2025 版）
    • 入口臭氧濃度：≤ 1 000 ppm（瞬時峰值 1 500 ppm）
    • 出口臭氧濃度：＜ 0.1 ppm（符合 JIS B 9929 室內臭氧≤0.1 mg/m3 要求）
    • 處理風量：5–25 L/min（內置 DC 無刷泵，可隨設備聯動啟停）
    • 壓損：≈ 120 Pa @ 10 L/min，對背壓敏感的小型 UV 腔體同樣適用
    • 催化劑壽命：≥ 8 000 h（每天 8 h 約可用 3 年），到期后模塊整體更換，重量僅 80 g
  3. 外形與接口
    • 主機 120×90×45 mm，0.35 kg，IP20 桌面放置
    • 進氣/出氣為 φ6 mm 快擰接頭，標配 1 m FEP 配管
    • 電源：DC 12 V/1 A（附帶 100–240 V AC 適配器），功耗 ≤ 8 W
    • 外部控制：光電隔離 RUN/STOP 信號，可與 UV 燈電源聯動；提供臭氧泄漏報警干接點
  4. 典型應用
    • 準分子（Excimer）UV 曝光機、O? 表面清洗機、小型臭氧水制取裝置的尾氣處理
    • 實驗室晶圓清洗、FPD 封裝預處理后，直接排入室內空調環境
日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT，并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設備、小型臭氧發生器尾氣的“即時解毒"設計，可在無局部排風的環境下，將臭氧濃度迅速降到安全水平
。主要特點如下：
  1. 分解原理
    采用“離子分解 + 非金屬催化劑"兩段式結構：
    • 前段電暈放電產生低溫等離子體，使 O? 初步裂解為 O? + O*；
    • 后段填充 Excimer  MnO?-沸石復合催化劑，把殘余臭氧轉化為氧氣，無二次污染物。
  2. 性能指標（2025 版）
    • 入口臭氧濃度：≤ 1 000 ppm（瞬時峰值 1 500 ppm）
    • 出口臭氧濃度：＜ 0.1 ppm（符合 JIS B 9929 室內臭氧≤0.1 mg/m3 要求）
    • 處理風量：5–25 L/min（內置 DC 無刷泵，可隨設備聯動啟停）
    • 壓損：≈ 120 Pa @ 10 L/min，對背壓敏感的小型 UV 腔體同樣適用
    • 催化劑壽命：≥ 8 000 h（每天 8 h 約可用 3 年），到期后模塊整體更換，重量僅 80 g
  3. 外形與接口
    • 主機 120×90×45 mm，0.35 kg，IP20 桌面放置
    • 進氣/出氣為 φ6 mm 快擰接頭，標配 1 m FEP 配管
    • 電源：DC 12 V/1 A（附帶 100–240 V AC 適配器），功耗 ≤ 8 W
    • 外部控制：光電隔離 RUN/STOP 信號，可與 UV 燈電源聯動；提供臭氧泄漏報警干接點
  4. 典型應用
    • 準分子（Excimer）UV 曝光機、O? 表面清洗機、小型臭氧水制取裝置的尾氣處理
    • 實驗室晶圓清洗、FPD 封裝預處理后，直接排入室內空調環境


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