足疗店女技师按摩毛片丨91精品一区二区丨西西午夜无码大胆啪啪国模丨亚洲综合在线一区二区三区丨国产v片在线播放免费无码丨国产麻豆精品一区丨欧美影音丨成人h动漫无码网站久久丨av在线不卡播放丨亚洲精品影视丨欧美三级特黄丨国产成人精品综合久久久久丨极品白嫩的小少妇丨另类激情亚洲丨午夜亚洲天堂丨国产三区视频丨亚洲国产丝袜丨极品videosvideo喷水丨日本午夜网丨色呦呦国产精品

產品資料
首頁 >>> 產品中心 >>> 機械設備 >>> 加熱器 >>> S/M/L系列半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

產品名稱: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產品型號: S/M/L系列
產品特點: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點
交換式（Ca

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細介紹

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規格速覽

表格
復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規格速覽

表格
復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg



產品留言

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

深圳市秋山貿易有限公司版權所有 地址：深圳市龍崗區龍崗街道新生社區新旺路和健云谷2棟B座1002

13823147203
13823147203
在線客服
手機
13823147203

微信同號